濕度發生器晶圓CVD工藝用

濕度發生器晶圓CVD工藝用利用高精度恒流泵定量供給液體水，通過控制液態水相變，氣態水蒸氣與干路載氣混合形成恒定濃度的濕氣,再通過恒定溫度控制形成不同溫度下的相對或絕對濕氣。通過精密恒流泵加入精密蒸發器中，去離子水的流量連續可調，精密蒸發器將液態水100%蒸發，并且保證蒸汽流量波動小于2%

技術優勢：

• 自主研發的可蒸發相變技術

此技術提供成分濃度穩定（波動小于±1%）且可連續調控的所需氣體。特殊氣化結構，大幅抑制汽化不均勻而導致的脈動。

• 自主研發氣化模塊
  

此模塊小巧，避免了傳統加熱爐汽化電轉化效率低、不穩定汽化等問題。

• 自主研發無死體積進樣技術

由于系統中傳輸通道的存在，現有測試中均存在“死體積"現象，有一部分殘留在傳輸通道中，導致發生總量出現偏差。

“死體積"是目前測試行業中未得到很好解決的一個難題。本公司自研無死體積進樣技術，在不影響傳輸通道設計的前提下，通過輔助進樣實現全部流體進樣無殘留。

產品特點：

• 快速響應，操作簡單

• 微通道液膜結構

• 濕度平穩連續，波動小且精確度高

• 溫濕度傳感器，可選配國產和進口

• 內部器件材質SUS304/316L，耐高溫耐腐蝕

• 進樣濕，無殘留

• 濕氣出口采用加熱保溫裝置，不冷凝，出氣穩定

• PID智能控溫，運行狀態直觀顯示

• 進液流量、溫度等參數可設置，流量/溫度精確可控

• 可支持實時在線數據的讀取與保存

• 可集聯與遠程

• 壽命長，正常使用5年以上，過程中無任何易損耗材需更換

• 可按需求定制