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濕度發(fā)生器晶圓CVD工藝用采用高精度高溫耐壓管路及接頭，超低泄露率。系統(tǒng)整體耐壓超2Mpa，出口壓力波動(dòng)小，小于±10pa，配置防爆型發(fā)生模塊。

雙85濕度發(fā)生器半導(dǎo)體芯片老化測試用兼具便攜式結(jié)構(gòu)與高精度計(jì)量性能的溫濕度校準(zhǔn)儀器，能夠滿足各類溫濕度傳感器、溫濕度變送器及小型溫濕度儀表等常規(guī)溫濕度測量儀表的計(jì)量校準(zhǔn)需求。

氣體濕度發(fā)生器采用質(zhì)量流量計(jì)控制高精度高溫耐壓管路及接頭，超低泄露率。系統(tǒng)整體耐壓超2Mpa，出口壓力波動(dòng)小，小于±10pa，配置防爆型發(fā)生模塊。

高精度濕度發(fā)生器實(shí)驗(yàn)室計(jì)量校準(zhǔn)專用兼具便攜式結(jié)構(gòu)與高精度計(jì)量性能的溫濕度校準(zhǔn)儀器，能夠滿足各類溫濕度傳感器、溫濕度變送器及小型溫濕度儀表等常規(guī)溫濕度測量儀表的計(jì)量校準(zhǔn)需求。

精密濕度發(fā)生器采用高精度高溫耐壓管路及接頭，超低泄露率。系統(tǒng)整體耐壓超2Mpa，出口壓力波動(dòng)小，小于±10pa，配置防爆型發(fā)生模塊。

便攜式溫濕度發(fā)生器 計(jì)量校準(zhǔn)用兼具便攜式結(jié)構(gòu)與高精度計(jì)量性能的溫濕度校準(zhǔn)儀器，能夠滿足各類溫濕度傳感器、溫濕度變送器及小型溫濕度儀表等常規(guī)溫濕度測量儀表的計(jì)量校準(zhǔn)需求。